在生產(chǎn)工藝中，退火爐以及擴(kuò)散爐當(dāng)然還有氧化爐，這樣的工藝屬于是低壓的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，這樣的工藝在生產(chǎn)中是最嚴(yán)格的，一般情況下這種工藝都市在為與氨分解爐來使用，就拿退火來說，他需要的是三個(gè)步驟。

具體的就是在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，本來的三價(jià)雜志他會(huì)和硅進(jìn)入到空氣中，然后與氧結(jié)合，而這個(gè)過程其實(shí)就是氧化過程，在工作這個(gè)雜志起到了作用，而這個(gè)雜質(zhì)和硅進(jìn)行了結(jié)合，既然雜質(zhì)已經(jīng)和硅結(jié)合完成，那么久還有一個(gè)電子沒有動(dòng)，所以電子會(huì)流動(dòng)，而氧化之后的雜質(zhì)再也不會(huì)進(jìn)入到這個(gè)過程中來了，所以我們就能得到較為高純度的硅片了。

如今能夠有這樣設(shè)備的廠家也在不斷增加，而最為有影響力的還是英國(guó)Thermco的退火爐設(shè)備。英國(guó)Thermco的成立時(shí)間也很有年份了，他的成立時(shí)間是在1962年，在這個(gè)世界上，如果去探究擴(kuò)散爐又或者是氧化爐這樣的設(shè)備話，那么英國(guó)Thermco決定是第一名，無可厚非。

如今的很多半導(dǎo)體企業(yè)中都會(huì)有這樣的設(shè)備安裝，因?yàn)閷I(yè)的設(shè)備能夠提煉純度更高的材料，這些材料又都是生產(chǎn)半導(dǎo)體的關(guān)鍵因素，所以很多生產(chǎn)半導(dǎo)體的企業(yè)中都有專業(yè)的設(shè)備，而英國(guó)Thermco的設(shè)備也正是他們所熱衷并且信賴的產(chǎn)品。

英國(guó)Thermco的產(chǎn)品他適合的材料有氧化硅、多晶硅、低應(yīng)力氧化硅等高精密材料產(chǎn)品，產(chǎn)品的主要工作性能主要有兩爐混合體的退火、高溫的熱回火，以及低溫退火的處理等。

現(xiàn)在英國(guó)Thermco的產(chǎn)品設(shè)備安裝已經(jīng)超過了2萬管的成績(jī)，英國(guó)Thermco因?yàn)楫a(chǎn)品的不同會(huì)有多個(gè)不同的系列的劃分，英國(guó)Thermco產(chǎn)品的處理能力非常的顯著，基本是最基本的也可以處理到25片，如果是另外的產(chǎn)品，甚至還可以處理50片甚至是100片的好成績(jī)。

英國(guó)Thermco的產(chǎn)品基本都是退熱爐、氧化爐這樣的產(chǎn)品，他的工作比較特殊，所以對(duì)于電能的要求也是更為苛刻的，一個(gè)持續(xù)的電能環(huán)境，以及一個(gè)穩(wěn)定的電壓環(huán)境是英國(guó)Thermco工作時(shí)必要的基礎(chǔ)準(zhǔn)備，所以他的生產(chǎn)過程時(shí)必然需要ups不間斷電源設(shè)備的。