- [常見問題]rtp設備的原理是什么?爭對rtp工藝進行解說!2022年01月17日 00:47
- rtp是應為RapidThermalProcessing的簡稱，也就是一種快速熱處理，是在一個短暫的時間內實現加熱，在半導體領域就是例如給硅片加熱至400~1300℃這個范圍，這種操作是有一定優勢，以下內容當中會涉及到，相對于半導體領域的rtp設備或其他設備在供電上使用的ups電源是可以直接咨詢我們優比施廠家，廠家直接對接更放心。 rtp設備的原理： RTP(RapidThermalProcessing)是一種在很短的時間內將整個硅片加熱到400~1300濕度范圍的方法。與
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